普发PFEIFFER真空泵
ATH-M / ATP-M 涡轮分子真空泵
点击：28发布时间：2025-08-29
ATH-M 和 ATP-M 涡轮分子真空泵通过五轴磁悬浮轴承系统，可实现高真空、超高真空乃至 10⁻¹¹ hPa（mbar）的极高真空度。
这些真空泵专为半导体制造、工业应用和研发等严苛应用设计，其工作原理基于高速转子技术，在保证高抽速的同时实现超低振动运行。
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ATH-M 和 ATP-M 涡轮分子真空泵通过五轴磁悬浮轴承系统，可实现高真空、超高真空乃至 10⁻¹¹ hPa（mbar）的极高真空度。
这些真空泵专为半导体制造、工业应用和研发等严苛应用设计，其工作原理基于高速转子技术，在保证高抽速的同时实现超低振动运行。
